最佳工程系统公司(OES)发布了一系列高精度x轴工作台，具有整体旋转定位工作台。该系列的四个x级和θ级的线性行程分别为:15mm(0.591英寸)、30mm(1.181英寸)、50mm(1.968英寸)和75mm(2.953英寸)。转盘能够在任意方向连续360度旋转，直径为100毫米(3.937英寸)。直径为60毫米(2.362英寸)的版本也可用。

x轴工作台在高精度交叉滚子轴承上移动，由每转1毫米的精密地面丝杠驱动，速度可达5毫米/秒。具有3微米的重复性，x轴工作台的线性分辨率为0.5微米(每个步进电机驱动器使用10微步)和0.25微米(每个步进电机驱动器使用20微步)，位置精度为10微米。

直径100毫米的台阶由180:1的精密蜗轮驱动。θ级的分辨率为0.001度(每步进电机驱动器使用10微步)。重复性为0.005度，定位精度为0.01度，间隙为0.005度。表中螺纹孔的精确模式简化了工装的安装。两相步进电机是标准配置。每个步进电机上用于手动调整的旋钮可以替换为用于位置验证的增量编码器或伺服电机。这些紧凑的黑色阳极氧化铝x级和θ级易于集成到新的或现有的系统中。OES提供兼容的运动控制器，x + -theta阶段也可以作为完整的即插即用系统订购。

这些高分辨率、高重复性的x和θ级适用于角玻璃切割和磨削、晶圆对准、半导体处理、激光切割、钻孔、机械加工、扫描、检查、组装和测试等应用。开云体育store

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